Ozono, Edson Moriyoshi, e Gabriel Abrusio. “DEPOSIÇÃO E ILME INO E ARBETO E SILÍCIO UMA CÂMARA PECVD OR LASMA E ICROONDAS”. Simpósio de Iniciação Científica e Tecnológica 6, no. 1 (setembro 1, 2025): 053–056. cessado março 28, 2026. https://publicacoescgesg.cps.sp.gov.br/sict/article/view/492.