Ozono, E. M. e Abrusio, G. (2025) “DEPOSIÇÃO DE FILME FINO DE CARBETO DE SILÍCIO NUMA CÂMARA MPECVD POR PLASMA DE MICROONDAS ”, Simpósio de Iniciação Científica e Tecnológica, 6(1), p. 053–056. isponível em: https://publicacoescgesg.cps.sp.gov.br/sict/article/view/492 (cessado: 28 março 2026).