SISTEMA METROLÓGICO DE PRESSÃO POR MEDIÇÃO ÓPTICA

Resumo

A tecnologia do vácuo tem sido cada vez mais usada tanto em setores comuns quanto estratégicos, como a fabricação de componentes microeletrônicos. Por isso, a demanda para uma medição cada vez mais precisa vem se mostrando necessária.
Assim, o presente trabalho tem como objetivo desenvolver, testar e habilitar um sistema metrológico de pressão baseado na deflexão de uma membrana que, com medição óptica, tenha a qualidade de um sensor absoluto, isto é, determinado a partir de primeiros princípios.